Compressed Sensing in Ptychography und Transmissionselektronenmikroskopie

Im Rahmen dieses Projekts soll die Methode des Compressed Sensing eingesetzt werden, um die Objektrekonstruktion aus ptychographischen Datens?tzen, bestehend aus hochaufl?senden Transmissionselektronenmikroskop (TEM)-Abbildungen oder Elektronenbeugungsmustern im Rasterelektronenmikroskop (REM), zu verbessern. Damit sollen auch die Datenakquise beschleunigt, und die notwendige Elektronendosis und somit die strahlinduzierte Probensch?digung reduziert werden. Im Besonderen sollen sowohl eine Methode zur schnellen Phasenabbildung im REM, ausgerüstet mit einem Transmissionsdetektor, als auch Nahfeldptychographie im TEM mit einer r?umlichen Aufl?sung besser als dessen Informationslimit, entwickelt werden. Die erfolgreiche Umsetzung der Methode soll experimentell an zunehmend komplexer werdenden Standardproben verifiziert werden. Schlie?lich wird die Methode zur Untersuchung von besonders herausfordernden Proben wie Metall und Metalloxidpartikeln verwendet, die durch Laserverdampfung in der Gasphase synthetisiert wurden.